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一、概要
武汉三工光电公司的激光调阻机是专业针对厚膜电路和薄膜电路行业而研制生产的，它是利用激光技术对厚膜电阻或薄膜电阻切割实现对电阻的精密调节，包括电阻本身调整和电路功能调整，主要应用于薄膜、厚膜、混合集成电路的高精度调阻。涉及以下行业：通讯，汽车电子，传感器，片式电阻，军工科研，医疗，工业电子，航空航天。本公司生产的激光调阻机从核心的测量控制系统、软件系统等全部自主开发，拥有全部自主知识产权，能为客户提供全面的激光调阻应用解决方案。
二、工作原理
激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上，通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻，通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行，同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化，厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值，当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭，即实现激光调阻过程。
三、设备参数
1．激光器系统
l 激光波长：1064nm
l 激光平均功率：20W
l 典型光斑尺寸： 30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长
l 冷却方式：风冷
l 对焦方式：计算机程序控制
2．激光束定位系统
l 激光束运动范围：60mm X 60mm
l 重复定位精度：2µm
l 定位精度：5µm
l 激光束最小步进：1µm
3．图像监视系统
l 监视方式：激光同轴监视
l 监视视场：2-3mm（对角线）
l 图像监视显示屏：19寸液晶
4．测量系统
l 激励方式：电流激励
l 恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
l 电阻测量方式：四线制加电流测电压（可选择二线制）
l 直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
l 调节对象发热控制：程序可设定
l 电阻测量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
l 电阻测量范围： 0.1Ω-10MΩ
l 电阻测量速度：25µs
l 直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
l 探针板：44针11通道四线制（可选其它规格）
l 探针板运动：计算机程序控制
5．计算机及软件系统
l 工业控制计算机（双核），19寸液晶
l 操作系统：Windows XP
l VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
6．分步重复机械运动系统
l 运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力
l 运动范围：290mm*260mm
l 最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根据要求定做）
l 运动分辨率：1µm
l 重复精度：2µm
l 最大运动速度：500mm/s
7．其它技术指标
l 供电电压：220V AC
l 整机功耗：1000W